一，三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)械精度
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)械精度包括以下:
1.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的21項(xiàng)機(jī)械制造誤差：三坐標(biāo)的12項(xiàng)靜態(tài)誤差：3個(gè)定位誤差即3軸的定位誤差；
6個(gè)直線度誤差即3軸6個(gè)方向的直線度誤差；3個(gè)垂直度誤差即3軸3個(gè)方向的垂直度誤差；
三坐標(biāo)的12項(xiàng)靜態(tài)誤差主要是由花崗巖工作臺(tái)橫梁和Z軸的制造誤差以及機(jī)械結(jié)構(gòu)的裝配誤差造成的
2.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的9項(xiàng)動(dòng)態(tài)誤差：3個(gè)方向的滾轉(zhuǎn)誤差，4個(gè)方向的俯仰誤差和2個(gè)方向的偏擺誤差；
三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的9項(xiàng)動(dòng)態(tài)誤差主要是由三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的傳動(dòng)方式及傳動(dòng)的平穩(wěn)性，運(yùn)動(dòng)部分的重心，跨度，重量，受力部局等因素造成的
3.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的機(jī)械結(jié)構(gòu)的微觀變形量比如三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)材料的結(jié)構(gòu)剛性，材料的內(nèi)引力，熱變形，三坐標(biāo)溫度補(bǔ)償?shù)纫鸬娜鴺?biāo)精度受影響
4.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的計(jì)量基準(zhǔn)光柵的變量引起的精度穩(wěn)定性受影響
5.三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)控制系統(tǒng)引起的精度變化
